作為中國(guó)第一所現(xiàn)代大學(xué)，天津大學(xué)是211工程、985工程首批重點(diǎn)建設(shè)的大學(xué)。學(xué)校科研實(shí)力雄厚，始終聚焦國(guó)家重大戰(zhàn)略需求、聚焦世界科技發(fā)展前沿，取得了豐碩的成果。隨著中國(guó)經(jīng)濟(jì)實(shí)力的提高，大學(xué)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)也走向了更加專業(yè)化、規(guī)?；?、完整化的道路。天津大學(xué)時(shí)刻注重提升學(xué)院的科研水平，積極完善儀器設(shè)備配置，培養(yǎng)更多優(yōu)秀人才。

實(shí)驗(yàn)室是現(xiàn)代科學(xué)的搖籃，是培養(yǎng)科技人才的孵化器，實(shí)驗(yàn)室儀器的購(gòu)買關(guān)系到大學(xué)師資力量和教學(xué)水平的提高。近日，天津大學(xué)精儀學(xué)院就聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)項(xiàng)目進(jìn)行公開招標(biāo)。預(yù)算金額為819萬(wàn)元，共采購(gòu)一套聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)。

項(xiàng)目名稱：天津大學(xué)精儀學(xué)院聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)

項(xiàng)目編號(hào)：1504-1842018J0002 (TDZC2018J0022)

一、采購(gòu)項(xiàng)目的名稱、數(shù)量、簡(jiǎn)要規(guī)格描述或項(xiàng)目基本概況介紹：

具備離子束加工過程實(shí)時(shí)監(jiān)控功能

聚焦離子/電子雙束系統(tǒng)是利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。在半導(dǎo)體行業(yè)有著重要作用，可用來切割納米級(jí)結(jié)構(gòu)，對(duì)光刻技術(shù)中的屏蔽板進(jìn)行修補(bǔ)，制作透射電鏡樣品，分離和分析集成電路的各個(gè)元件，激活由特殊原子組成的材料，使其具有導(dǎo)電性等等。

目前，我國(guó)的科研單位及高等院校在聚焦離子束曝光技術(shù)及其應(yīng)用方面也作了大量的研究工作并取得了可喜的成績(jī)。未來，隨著我國(guó)微電子工業(yè)的發(fā)展，聚焦離子束曝光技術(shù)及其應(yīng)用技術(shù)也將被提高到新的水平。天津大學(xué)精儀學(xué)院此次添置這一設(shè)備，將為學(xué)科研究工作順利開展提供硬件支撐，意義重大。